[实用新型]一种用于多晶硅生产的氢气循环装置有效
| 申请号： | 201120270720.1 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN202208643U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 杨刊;陈骏;李胜楠 | 申请（专利权）人： | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 052360 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于多晶硅生产的氢气循环装置，包括多晶硅还原氢气循环系统和冷氢化氢气循环系统；其特征在于所述多晶硅还原氢气循环系统中的还原氢气缓冲罐底部的出口通过装有连通阀的管道与冷氢化氢气循环系统中的冷氢化补充氢气缓冲罐的底部进口相连通。本实用新型达到了节能减排、便于控制和提高多晶硅质量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 生产 氢气 循环 装置 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅生产的氢气循环装置，包括多晶硅还原氢气循环系统和冷氢化氢气循环系统，所述多晶硅还原氢气循环系统包括还原氢气缓冲罐（1），所述冷氢化氢气循环系统包括冷氢化补充氢气缓冲罐（2）；其特征在于所述多晶硅还原氢气循环系统中的还原氢气缓冲罐（1）的底部出口通过装有连通阀（3）的管道与冷氢化氢气循环系统中的冷氢化补充氢气缓冲罐（2）的底部进口相连通。
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