[实用新型]新型原子层沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种新型原子层沉积设备，包括：载气管路、反应源管路、反应腔体、抽气管路及真空泵，载气管路与反应源相连通，反应源管路分别与反应源及反应腔体相连通，抽气管路分别与反应腔体及真空泵相连通；反应腔体上设置有闭合状的外层密封圈及内层密封圈，外层密封圈、内层密封圈、反应腔体上位于外层密封圈及内层密封圈之间的外表面部分、以及反应腔体的闭合舱门之间形成密封通道，密封通道分别与密封通道进气管路及密封通道抽气管路相连通，密封通道抽气管路与抽气管路相连通；抽气管路上设置有流量调节装置。本实用新型的原子层沉积设备，能够提供良好的密封性能，对于高宽深比的复杂三维结构具有良好的沉积效果。

主权项

一种新型原子层沉积设备，包括：载气管路、反应源管路、反应腔体、抽气管路及真空泵，所述载气管路与反应源相连通，所述反应源管路分别与所述反应源及所述反应腔体相连通，所述抽气管路分别与所述反应腔体及所述真空泵相连通；其特征在于，所述反应腔体上设置有闭合状的外层密封圈及内层密封圈，其中，所述外层密封圈、所述内层密封圈、所述反应腔体上位于所述外层密封圈及所述内层密封圈之间的外表面部分、以及所述反应腔体的闭合舱门之间形成密封通道，所述密封通道分别与密封通道进气管路及密封通道抽气管路相连通，所述密封通道抽气管路与所述抽气管路相连通；所述抽气管路上设置有流量调节装置。