[实用新型]晶圆清洁装置的驱动机构有效
| 申请号： | 201120275827.5 | 申请日： | 2011-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN202199565U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 刘元周 | 申请（专利权）人： | 科建国际实业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00;F16H7/18;F16H7/20 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅;王燕秋 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆清洁装置的驱动机构，其包含有：一转轴，具有一第一端与一第二端；一第一齿轮，具有一侧面，所述第一齿轮设于所述转轴的第一端；一第一挡板，为能拆卸地设于所述第一齿轮的侧面，且所述第一挡板的外缘大于所述第一齿轮的外周；一第二齿轮，具有一侧面，所述第二齿轮设于所述转轴的第二端；一第二挡板，为能拆卸地设于所述第二齿轮的侧面，且所述第二挡板的外缘大于所述第二齿轮的外周。本实用新型可增加晶圆清洁装置的使用寿命，降低维修更新的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 驱动 机构 | ||
【主权项】：
晶圆清洁装置的驱动机构，其特征在于包含有：一转轴，具有一第一端与一第二端；一第一齿轮，具有一侧面，所述第一齿轮设于所述转轴的第一端；一第一挡板，为能拆卸地设于所述第一齿轮的侧面，且所述第一挡板的外缘大于所述第一齿轮的外周；一第二齿轮，具有一侧面，所述第二齿轮设于所述转轴的第二端；一第二挡板，为能拆卸地设于所述第二齿轮的侧面，且所述第二挡板的外缘大于所述第二齿轮的外周。
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