[实用新型]用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台有效
| 申请号： | 201120276774.9 | 申请日： | 2011-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN202247004U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 傅林坚;石刚;叶欣;曹建伟;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供一种用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台。该热交换台用来放置多晶硅铸锭炉坩埚并实现热交换，设有气体入口和气体出口，热交换台的内部设置冷却气通道，并与前述气体入口和气体出口相连。相比辐射降温和水冷式的冷却技术，本实用新型中的热交换台在用于气体致冷时控制能力强、工业可控性高，而且由于气体均匀进入热交换台使得热交换台整体温度均匀，有利于坩埚底部硅熔体的均匀形核，可以在长晶过程中对坩埚底部温度的下降速度进行精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 铸锭 改进 结构 交换台 | ||
【主权项】：
用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台，该热交换台用来放置多晶硅铸锭炉坩埚并实现热交换，其特征在于，该热交换台上设有气体入口和气体出口，热交换台的内部设置冷却气通道，并与前述气体入口和气体出口相连。
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