[实用新型]一种还原炉电极的密封结构有效
申请号: | 201120282601.8 | 申请日: | 2011-08-05 |
公开(公告)号: | CN202193621U | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 沈伟;徐予晗;郑小刚 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吴彦峰 |
地址: | 620041 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种还原炉电极的密封结构,属于MSA还原炉电极的密封装置领域。本实用新型的还原炉电极的密封结构,包括电极本体和电极端盖,所述电极端盖设置于电极本体上,所述电极本体与电极端盖之间通过相互重叠的石墨垫与陶瓷环进行密封和绝缘。本实用新型的还原炉电极的密封结构,结构简单,成本低廉,有力地解决因电极密封性差引起的物料泄露和频繁停开炉的难题;提高了多晶硅还原工序的工作效率和多晶硅的产品质量,减少工作人员的工作量,缩短还原炉的开停炉的周期,满足长期高效的运行生产;能够减小维修次数,从而增加单炉多晶硅产量。 | ||
搜索关键词: | 一种 还原 电极 密封 结构 | ||
【主权项】:
还原炉电极的密封结构,包括电极本体(1)和电极端盖(2),所述电极端盖(2)设置于电极本体(1)上,其特征在于:所述电极本体(1)与电极端盖(2)之间通过相互重叠的石墨垫与陶瓷环(4)进行密封和绝缘。
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