[实用新型]一种全自动硅片插片机有效
| 申请号： | 201120285290.0 | 申请日： | 2011-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN202167533U | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 王鹏华;刘鹤川 | 申请（专利权）人： | 无锡市索克赛斯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214112 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种全自动硅片插片机，包括机架和设置在机架上的插片机，插片机包括上料组件、输送组件和插片组件，上料组件连接输送组件，输送组件连接插片组件。本实用新型具有的有益效果：吸盘采用非接触吸盘，非接触吸盘的工作面积大，比现有的真空吸盘工作面积大4倍，并采用先进的电子压力开关，实现压力可调，所以不会多硅片产生隐印。硅片传输采用同步带，传输中两带线速度相同，硅片堵塞机率只有1/10000。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 硅片 插片机 | ||
【主权项】：
一种全自动硅片插片机，包括机架和设置在机架上的插片机，其特征在于，所述插片机包括上料组件、输送组件和插片组件，所述上料组件连接输送组件，所述输送组件连接插片组件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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