[实用新型]新型液相氯硅烷取样装置有效
| 申请号： | 201120285423.4 | 申请日： | 2011-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN202182835U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 王忻忻;陈川;朱义;程峰;郑超;李政村 | 申请（专利权）人： | 天威四川硅业有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/20 | 分类号： | G01N1/20 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 毛光军 |
| 地址： | 611430 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及多晶硅生产中液相氯硅烷的取样技术，特别是一种新型液相氯硅烷取样装置，设置于冷凝器和尾气淋洗系统之间，包括分流三通阀，通过的分流三通阀的一端连接冷凝器，通过的分流三通阀的另一端连接尾气淋洗系统，分流三通阀的第三端连接取样器，取样器连接有氯硅烷废气吸收装置；本实用新型无需残液桶，无液相氯硅烷外泄，发烟量极小；采用PFA组件可很大程度降低传统不锈钢取样钢瓶对质检级氯硅烷样品的重金属杂质污染；相较传统开放式取样，物料温度大大降低，对工艺环境要求降低，对气候条件无苛刻要求，降低了各种安全隐患；组装简便，有效提高了取样效率，维护成本低，维护操作简单；适用于现在所有的吹扫置换型取样柜。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 液相氯 硅烷 取样 装置 | ||
【主权项】：
新型液相氯硅烷取样装置，设置于冷凝器和尾气淋洗系统（3）之间，其特征在于：包括分流三通阀（1），分流三通阀（1）的一端连接冷凝器（2），分流三通阀（1）的另一端连接尾气淋洗系统（3），分流三通阀（1）的第三端连接取样器（4），取样器（4）连接有氯硅烷废气吸收装置（5）。
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