[实用新型]一种LaB6空心阴极电子枪多功能离子镀膜机

摘要

本实用新型涉及一种LaB6空心阴极电子枪多功能离子镀膜机。现有复合离子镀膜机没有解决膜层中的大颗粒问题，离化率低。本实用新型由LaB6空心阴极电子枪、八角形真空室、集束线圈、辅助阳极、长方形法兰、多弧阴极靶、磁控溅射靶、抽气口、高阀、分子泵、粗抽泵和维持泵构成。八角形真空室上部中心处设置有LaB6空心阴极电子枪，上下部边缘设置有集束线圈，真空室通过抽气口与高阀相连，高阀底部与分子泵相连，分子泵前级与维持泵相连，炉体底部与粗抽泵相连。真空室侧面六个面设置有长方形法兰，其余两个面设置有观察窗和抽气口；真空室内部设置有工件转架和加热器，底面中心处设置有辅助阳极。改善了离子镀镀膜产品品质，提高了生产效率。

主权项

一种LaB6空心阴极电子枪多功能离子镀膜机，其特征在于它由LaB6空心阴极电子枪(1)、八角形真空室(2)、上集束线圈(3)、下集束线圈(4)、辅助阳极(9)、长方形法兰(5)、多弧阴极靶(7)、磁控溅射靶(8)、抽气口(10)、高阀(11)、分子泵(12)、粗抽泵(13)和维持泵(14)构成，LaB6空心阴极电子枪(1)设置在八角形真空室(2)上部中心处，上集束线圈(3)设置在八角形真空室(2)上部边缘，下集束线圈(4)设置在八角形真空室(2)下部边缘；八角形真空室(2)通过抽气口(10)与高阀(11)相连接，高阀(11)底部与分子泵(12)连接，分子泵(12)前级与维持泵(14)连接，炉体底部与粗抽泵(13)连接；八角形真空室(2)侧表面其中六个面设置有长方形法兰(5)，在长方形法兰(5)上设置有孔，可根据需要配置装有多弧阴极靶(7)或磁控溅射靶(8)的模板，八角形真空室(2)侧表面的其余两个面设置有观察窗及抽气孔；八角形真空室(2)内部设置有工件转架(6)和加热器，八角形真空室(2)内底部中心处设置有辅助阳极(9)。