[实用新型]一种晶棒性能连续测试架有效
申请号: | 201120288455.X | 申请日: | 2011-08-10 |
公开(公告)号: | CN202153233U | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 刘宝成 | 申请(专利权)人: | 河南恒昌电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌市*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及半导体生产技术领域,涉及半导体晶棒测试装置,具体地说是涉及一种晶棒性能连续测试架。包括两个测试支架,其特征是:所述的两个测试支架分别转轴连接有圆形的转盘,两个转盘上具有对应的卡爪,所述的卡爪至少是两对,卡爪后边有导线连接电脑,所述的转盘上还具有限位凸起,所述的测试架还具有挡着限位凸起的抵挡结构,这样结构的晶棒性能连续测试架具有测试效率更高、不用等待的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 性能 连续 测试 | ||
【主权项】:
一种晶棒性能连续测试架,包括两个测试支架,其特征是:所述的两个测试支架分别转轴连接有圆形的转盘,两个转盘上具有对应的卡爪,所述的卡爪至少是两对,卡爪后边有导线连接电脑。
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