[实用新型]长晶装置有效
| 申请号： | 201120292261.7 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202193875U | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 蓝崇文;许松林;余文怀;蓝文杰;杨瑜民;白凯元;徐文庆 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种长晶装置，包含坩埚，以及位于坩埚外侧且对坩埚加热形成热场的热场供应器，坩埚包括具有开口并用以容置长晶原料的容槽，而热场供应器包括围绕坩埚并对坩埚加热的加热单元以及设于加热单元底部的隔热单元，且热场供应器可相对于坩埚在第一位置和第二位置之间移动而对坩埚形成具有温差的两个热场，藉此令坩埚中的长晶原料于此二形成明显的温度梯度的热场结构中可被控制地单向进行长晶，而获得具有较多孪生晶界的良好晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种长晶装置，包括坩埚和热场供应器，所述坩埚具有容槽，所述容槽上端为容槽开口，所述热场供应器环绕且包围于所述坩埚外侧，所述热场供应器能够沿所述容槽底面向所述容槽开口的方向相对于所述坩埚在第一位置与第二位置之间移动，其特征在于：所述热场供应器沿所述坩埚容槽底面朝容槽开口方向依次形成有第一热场和均温高于第一热场的第二热场，所述热场供应器在所述第一位置时，所述坩埚位于所述第二热场中，所述热场供应器在所述第二位置时，所述坩埚位于所述第一热场中。
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