[实用新型]过滤器的净化装置和液体供应系统有效
| 申请号： | 201120294198.0 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202207961U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 方青春;余文军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B01D35/02;B01D35/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种过滤器的净化装置，所述过滤器设置于液体供应管路中，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上。还公开了一种采用如上过滤器的净化装置的液体供应系统。本实用新型通过在过滤器底部增加一个过滤器的净化装置，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上，通过打开电磁阀可以实现对过滤器底部沉积的研磨液大颗粒或其它杂质进行清理，保证过滤器的正常功能，从而确保供应液如研磨液的质量，减少了晶圆产生瑕疵甚至报废的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 净化 装置 液体 供应 系统 | ||
【主权项】：
一种过滤器的净化装置，所述过滤器设置于液体供应管路中，其特征在于，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上。
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