[实用新型]薄膜太阳能电池的沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种用于沉积薄膜太阳能电池的离子体增强化学气相沉积（PECVD）装置，属于太阳能电池技术领域。解决解决PECVD沉积设备工艺气体利用率低、操作复杂等技术问题。薄膜太阳能电池的沉积装置，包括真空室和沉积盒，沉积盒的框架上装有进气室和混气室，沉积盒是由至少两个沉积腔室相互串联连接构成的多级沉积腔体，相邻沉积腔室之间由混气室连接，每个沉积腔室内均设有电极板，电极板上装有沉积基片。本实用新型采用多级沉积腔体结构，各级沉积腔体通过相互之间的混气室得到有效连接，有效地提高了PECVD薄膜制备过程中对工艺气体的利用率。

主权项

一种薄膜太阳能电池的沉积装置，包括真空室（01）和沉积盒（02），其特征在于所述沉积盒（02）的框架（21）上装有进气室（25）和混气室（23），沉积盒（02）是由多个沉积腔室构成的多级沉积腔体，相邻沉积腔室之间有混气室（23）连接；每个沉积腔室内均设有电极板（26），该电极板上装有沉积基片。