[实用新型]一种半导体晶片喷涂机有效
申请号: | 201120295949.0 | 申请日: | 2011-08-16 |
公开(公告)号: | CN202246825U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 刘宝成 | 申请(专利权)人: | 河南恒昌电子有限公司 |
主分类号: | C23C4/08 | 分类号: | C23C4/08;C23C4/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌市*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体器件制造技术领域,特别是涉及一种半导体晶片喷涂机,一种半导体晶片喷涂机,它包括机架、高压气仓、输送装置、火花产生器、喷涂出口,所述的高压气仓是一个腔状的结构、接有进气管安装在机架上;所述的输送装置中间是中空结构,中空结构内具有风轮,风轮向外接有两个齿轮,两个齿轮啮合部位具有辖着镍丝的结构,输送装置安装在高压气仓的出口;在输送装置的下面具有火花产生器,所述的火花产生器接镍丝;所述的喷涂出口在输送装置的下面,所述的风轮的两侧各接有两个齿轮,这样结构的半导体晶片喷涂机具有操作简单、没有污染、喷涂均匀的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 晶片 喷涂 | ||
【主权项】:
一种半导体晶片喷涂机,其特征是:包括机架、高压气仓、输送装置、火花产生器、喷涂出口,所述的高压气仓是一个腔状的结构、接有进气管安装在机架上;所述的输送装置中间是中空结构,中空结构内具有风轮,风轮向外接有两个齿轮,两个齿轮啮合部位具有辖着镍丝的结构,输送装置安装在高压气仓的出口;在输送装置的下面具有火花产生器,所述的火花产生器接镍丝;所述的喷涂出口在输送装置的下面。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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