[实用新型]氯硅烷回收系统有效
| 申请号： | 201120298860.X | 申请日： | 2011-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN202208647U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张新;郭勇;王璜;尹志兵 | 申请（专利权）人： | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 王睿 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可回收得到杂质含量较低的氯硅烷的氯硅烷回收系统。该氯硅烷回收系统包括顺序连接的：a、用于收集废弃氯硅烷的第一储液容器；b、用于将收集的氯硅烷液体转变为氯硅烷气体的蒸发器；c、用于对氯硅烷气体进行湿气反应除杂的反应器；d、用于收集反应产物第二储液容器；e、用于对反应产物中的气体进行气-固分离的分离器。本申请的氯硅烷回收系统够将生产过程中被污染的和杂质含量高的氯硅烷杂质去除，达到改良西门子法生产多晶硅工艺中氯硅烷原料杂质含量要求。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 回收 系统 | ||
【主权项】：
氯硅烷回收系统，其特征在于它包括顺序连接的：a、用于收集废弃氯硅烷的第一储液容器(2)；b、用于将收集的氯硅烷液体转变为氯硅烷气体的蒸发器(5)；c、用于对氯硅烷气体进行湿气反应除杂的反应器(6)；d、用于收集反应产物第二储液容器(8)；e、用于对反应产物中的气体进行气‑固分离的分离器(7)。
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