[实用新型]一种硅片转载器有效
申请号: | 201120298901.5 | 申请日: | 2011-08-17 |
公开(公告)号: | CN202183407U | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 左云翔 | 申请(专利权)人: | 苏州阿波罗光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人: | 孙高 |
地址: | 215600 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片转载器,其包括:底壁、安装于底壁两端的端壁及安装于底壁两侧的侧壁,上述五壁围绕形成收容硅片的收容空间,所述底壁向外凸设有数个第一凸部,所述端壁与侧壁的下方设有与上述第一凸部相卡扣的数个第一凹槽,所述端壁的两端向外凸设有数个第二凸部,所述侧壁的两端设有与第二凸部相卡扣的数个第二凹槽,所述端壁的中央设有轴杆,所述侧壁设有操作槽,该种硅片转载器不仅可防止金属污染,而且可防止硅片破碎。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 转载 | ||
【主权项】:
一种硅片转载器,其特征在于:所述硅片转载器包括:底壁、安装于底壁两端的端壁及安装于底壁两侧的侧壁,上述五壁围绕形成收容硅片的收容空间,所述底壁向外凸设有数个第一凸部,所述端壁与侧壁的下方设有与上述第一凸部相卡扣的数个第一凹槽,所述端壁的两端向外凸设有数个第二凸部,所述侧壁的两端设有与第二凸部相卡扣的数个第二凹槽,所述端壁的中央设有轴杆,所述侧壁设有操作槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的