[实用新型]一种硅片转载器有效

专利信息
申请号: 201120298901.5 申请日: 2011-08-17
公开(公告)号: CN202183407U 公开(公告)日: 2012-04-04
发明(设计)人: 左云翔 申请(专利权)人: 苏州阿波罗光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 代理人: 孙高
地址: 215600 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片转载器,其包括:底壁、安装于底壁两端的端壁及安装于底壁两侧的侧壁,上述五壁围绕形成收容硅片的收容空间,所述底壁向外凸设有数个第一凸部,所述端壁与侧壁的下方设有与上述第一凸部相卡扣的数个第一凹槽,所述端壁的两端向外凸设有数个第二凸部,所述侧壁的两端设有与第二凸部相卡扣的数个第二凹槽,所述端壁的中央设有轴杆,所述侧壁设有操作槽,该种硅片转载器不仅可防止金属污染,而且可防止硅片破碎。
搜索关键词: 一种 硅片 转载
【主权项】:
一种硅片转载器,其特征在于:所述硅片转载器包括:底壁、安装于底壁两端的端壁及安装于底壁两侧的侧壁,上述五壁围绕形成收容硅片的收容空间,所述底壁向外凸设有数个第一凸部,所述端壁与侧壁的下方设有与上述第一凸部相卡扣的数个第一凹槽,所述端壁的两端向外凸设有数个第二凸部,所述侧壁的两端设有与第二凸部相卡扣的数个第二凹槽,所述端壁的中央设有轴杆,所述侧壁设有操作槽。
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