[实用新型]高隔离度CWDM薄膜滤光片

摘要

本实用新型公开了一种高隔离度CWDM薄膜滤光片。高隔离度CWDM薄膜滤光片，包括基板（1），基板（1）的一面设有正面膜系（2），另一面设有反面膜系（3），所述的基板(1)采用厚度为1毫米玻璃为基板，其表面平面度为光圈N＜3，局部光圈ΔN＜0.4，表面光洁度B＝III；所述的正面膜系(2)为基于12个法布里-珀罗串联；所述的反面膜系(3)为增透膜。本实用新型通过法布里-珀罗腔数、串联方式、连接层非规整控制等较好的解决高陡度滤光片通道平坦度问题，透射率可以达到98%以上，通过此滤光片可以提高器件相邻通道隔离度，将隔离度从25dB提高到46dB。

主权项

一种高隔离度CWDM薄膜滤光片，包括基板（1），基板（1）的一面设有正面膜系（2），另一面设有反面膜系（3），其特征在于：所述的基板(1)采用厚度为1毫米玻璃为基板，其表面平面度为光 圈N＜3，局部光圈ΔN＜0.4，表面光洁度B＝III；所述的正面膜系(2)为基于12个法布里‑珀罗串联：Ns|HLHL H8LHLHLHL HLHL H8LHLHLHL ………HLHL H8LHLHLHL HLHL H8LHLHLHL0.2356H1.3526L|No，膜系中：Ns表示基板(1)，No表示空气，L表示厚度为λ0/4五氧化二钽膜层，H 表示厚度为λ0/4二氧化硅膜层，中心波长λ0＝1470‑1610纳米；所述的反面膜系(3)为增透膜，所述的增透膜的膜层结构如下：层材料膜厚1Ta2O556.472SiO274.043Ta2O5201.864SiO2256.04。