[实用新型]一种热交换装置

摘要

本实用新型公开了一种热交换装置，包括炉体、保温腔体、坩埚、加热器、冷却铜板、第一轨道、第二轨道、设置于第一轨道的两个保温板和设置于第二轨道的两个保温板。本实用新型公开的热交换装置，在多晶硅生长过程中，通过控制四个保温板的开度控制坩埚与冷却铜板进行热交换的区域，在垂直方向和水平方向同时产生温度梯度，使硅液从低向高、从中心向四周逐渐降温，在温度差的作用下，将杂质排至硅锭的顶层和边缘，从而降低硅锭中部的杂质，保证硅锭中部的多晶硅具有高品质，另外，由于四个保温板是逐渐打开的，可以减少热能的消耗，从而节省电能。

主权项

一种热交换装置，包括炉体、保温腔体、坩埚、加热器和冷却铜板，其中，所述保温腔体和冷却铜板均设置在所述炉体的内部；所述坩埚位于所述保温腔体的内部；所述加热器设置在所述坩埚的下部和上部；所述保温腔体的开口与所述冷却铜板相对应；其特征在于，所述保温腔体的开口处设置有与所述冷却铜板所在平面平行的第一轨道和第二轨道，所述第一轨道和第二轨道位于不同高度，并且所述第一轨道的中心线和所述第二轨道的中心线垂直，所述第一轨道上可滑动的设置有两个保温板，所述第二轨道上可滑动的设置有两个保温板，四个保温板分别与与之相对应的驱动装置相连。