[实用新型]一种分体式探针型测试机头有效
申请号: | 201120312268.0 | 申请日: | 2011-08-25 |
公开(公告)号: | CN202204832U | 公开(公告)日: | 2012-04-25 |
发明(设计)人: | 贺涛;田治峰;高凯;王强 | 申请(专利权)人: | 上海韬盛电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02;G01R1/067;G01R1/04 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 龚敏 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种分体式探针型测试机头,采用分体式结构,机头与测试机间采用端子连线的方式进行连接;包括测试基座,扇形低漏电主体,扇形SMB端子主体,外接引线导引盖和引线保护盖;其中,扇形低漏电主体通过定位销钉与测试基座定位,以螺丝锁附在测试基座上;基座的另一端安装有扇形SMB端子主体,扇形SMB端子主体和扇形低漏电主体通过同轴电缆连接;SMB端子主体上方装有外接引线导引盖。本实用新型采用的是分体结构,可以方便的应用在不同的晶圆分选平台上。同时,由于采用了8个相互独立扇形低漏电主体和8个相互独立扇形SMB端子主体,测试机头的漏电性能和维护性能大大提升。 | ||
搜索关键词: | 一种 体式 探针 测试 机头 | ||
【主权项】:
一种分体式探针型测试机头,其特征在于,采用分体式结构,机头与测试机间采用端子连线的方式进行连接;包括测试基座(1),扇形低漏电主体(2),扇形SMB端子主体(3),外接引线导引盖(4)和引线保护盖(5);其中,扇形低漏电主体(2)通过定位销钉与测试基座(1)定位,以螺丝锁附在测试基座上;基座的另一端安装有扇形SMB端子主体(3),扇形SMB端子主体(3)和扇形低漏电主体(2)通过同轴电缆连接;SMB端子主体上方装有外接引线导引盖(4)。
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