[实用新型]引线框架在线等离子清洗反应仓结构有效
| 申请号： | 201120317492.9 | 申请日： | 2011-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN202259152U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 谢艳;孙华;朱贵节;陈忠;黄玉红;吴旺春 | 申请（专利权）人： | 江阴康强电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，包括反应仓，所述反应仓一端设置有等离子清洗气体进气阀，反应仓内设置有电源正极引入端，所述电源正极引入端连接电源正极板，所述电源正极板安装于反应仓内，反应仓顶部设置有真空测量仪和气动角阀。所述电源正极板和反应仓顶面之间设置有一个绝缘板。本实用新型结构简单，效率高，解决了现有设备自动化程度低、易造成二次污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 引线 框架 在线 等离子 清洗 反应 结构 | ||
【主权项】：
一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，包括反应仓，其特征在于：所述反应仓一端设置有等离子清洗气体进气阀，反应仓内设置有电源正极引入端，所述电源正极引入端连接电源正极板，所述电源正极板安装于反应仓内，反应仓顶部设置有真空测量仪和气动角阀。
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