[实用新型]一种带有溢流盒的反应槽有效
| 申请号： | 201120319909.5 | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN202231047U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 左国军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 213125 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种带有溢流盒的反应槽，包括反应槽体，设于该反应槽体内部上部的运输滚筒。所述的相邻两运输滚筒之间设有溢流盒，而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路。本实用新型在反应槽体内的运输滚筒之间设置溢流盒，以便加快反应槽内的药液更换速度，而减少反应槽内各区域药液浓度的差异性，是的使硅片表面处理更均匀。相比传统的溢流装置，新的溢流盒能在槽体内随意分散开，克服了不同区域药液浓度不一致的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 溢流 反应 | ||
【主权项】：
一种带有溢流盒的反应槽，包括反应槽体（1），设于该反应槽体（1）内部上部的运输滚筒（2），其特征在于，所述的相邻两运输滚筒（2）之间设有溢流盒（3），而溢流盒的下面设有联通外部液体循环系统的管路（4）。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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