[实用新型]具有双面反射层的碲镉汞光电导探测器的参考元

摘要

本实用新型公开了一种具有双面反射层的碲镉汞光电导探测器的参考元，其结构为：在蓝宝石衬底上依次为下反射层，下绝缘层，碲镉汞光导器件层，上绝缘层A，上绝缘层B，铬层，上反射层。该参考元特征在于：蓝宝石衬底与碲镉汞光导器件层之间生长一层钛反射层和二氧化硅绝缘层，器件光敏面上生长一层铬金反射层以及负胶和二氧化硅绝缘层。其优点在于解决了器件背面与表侧面漏光产生响应的问题。

主权项

1.一种具有双面反射层的碲镉汞光电导探测器的参考元，其特征在于：参考元的结构为在蓝宝石衬底(1)上依次是下反射层(2)、下绝缘层(3)、碲镉汞光导器件层(4)、上绝缘层A(5)、上绝缘层B(6)、铬层(7)和上反射层(8)；其中，所述的蓝宝石衬底(1)为双面抛光的蓝宝石，厚度为250-300微米；所述的下反射层(2)为金属钛层，厚度为所述的下绝缘层(3)为二氧化硅绝缘层，厚度为所述的碲镉汞光导器件层(4)与其它正常工作的碲镉汞光导器件单元结构相同；所述的上绝缘层A(5)为负胶绝缘层，厚度为1-3微米，覆盖在器件层(4)的器件层光敏面(4-1)上；所述的上绝缘层B(6)为二氧化硅绝缘层，厚度为所述的铬层(7)为过渡层，厚度为所述的上反射层(8)为金层，厚度为上绝缘层A(5)、上绝缘层B(6)、铬层(7)和上反射层(8)的二维尺寸要比器件层光敏面(4-1)大10-20微米。