[实用新型]湿法清洗设备有效
| 申请号： | 201120330081.3 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN202238756U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 杜亮;李强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;G01N15/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的湿法清洗设备包括外槽，设置于所述外槽内的内槽，依次连接的第一泵、加热器和过滤器，以及颗粒检测装置，所述内槽设有喷嘴，所述外槽设有排液口，所述第一泵与所述外槽的排液口连接，所述过滤器与所述内槽的喷嘴连接，所述颗粒检测装置的输入端通过样品输入管与所述过滤器的输出端连接，所述颗粒检测装置的输出端通过样品输出管与所述内槽的喷嘴连接。本实用新型的湿法清洗设备可实时检测清洗液中颗粒含量，减少颗粒检测工作量。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种湿法清洗设备，包括外槽，设置于所述外槽内的内槽以及依次连接的第一泵、加热器和过滤器，所述内槽设有喷嘴，所述外槽设有排液口，所述第一泵与所述外槽的排液口连接，所述过滤器与所述内槽的喷嘴连接，其特征在于，所述湿法清洗设备还包括颗粒检测装置，所述颗粒检测装置的输入端通过样品输入管与所述过滤器的输出端连接，所述颗粒检测装置的输出端通过样品输出管与所述内槽的喷嘴连接。
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