[实用新型]一种清洗吊篮有效
申请号: | 201120330653.8 | 申请日: | 2011-09-05 |
公开(公告)号: | CN202238829U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 邱昌盛;张成勇 | 申请(专利权)人: | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;H01L21/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 314117 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种清洗吊篮,用于承载硅片承载器,包括侧壁(1)和底壁支架(2);所述侧壁(1)的高度小于所述硅片承载器的高度;所述底壁支架(2)上覆盖有具有镂空结构的底壁支撑板(21)。本实用新型通过于所述底壁支架(2)上设置底壁支撑板(21),将硅片承载器的支撑从侧壁支撑改为底壁支撑,从而能够较大幅度地降低所述侧壁(1)高度,使得硅片承载器具有较大的裸露面积用于搬运时方便地着力。同时,由于所述侧壁(1)高度的降低,也能够有效地避免硅片承载器在装于清洗吊篮或者于清洗吊篮中取出时与侧壁(1)或者与其它的硅片承载器之间的相互碰撞,减少了硅片因碰撞而造成的破损。 | ||
搜索关键词: | 一种 清洗 吊篮 | ||
【主权项】:
一种清洗吊篮,用于承载硅片承载器,包括侧壁(1)和底壁支架(2),其特征在于,所述侧壁(1)的高度小于所述硅片承载器的高度;所述底壁支架(2)上覆盖有具有镂空结构的底壁支撑板(21)。
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