[实用新型]用于匀化半导体激光器阵列光束质量的光学元件和系统

摘要

提供一种用于匀化半导体激光器阵列光束质量的一体化成型的光学元件以及利用该光学元件构成的用于一维、二维密排和二维非密排半导体激光器阵列光束匀化的系统。该光学元件包括一体化层叠的多个厚度相等的透明光学材料层，每个层均为扁平的直平行六面体，其一对平行的侧面分别为半导体激光器阵列光束的入射端面和出射端面，其另一对平行的侧面平行于所述光束的入射方向，其平行四边形底面与相邻层的底面部分重合，其中，沿层叠方向顺序排列的各个层中的光束入射端面相对于平行于所述光束入射方向的侧面所成的角度递增或递减，各个层中的入射端面和出射端面之间的垂直距离或沿所述光束入射方向的距离相同。

主权项

一种用于匀化半导体激光器阵列光束质量的光学元件，其特征在于，该光学元件包括一体化层叠的N个厚度相等的透明光学材料层，N为自然数，N≥2，所述每个透明光学材料层均为扁平的直平行六面体，该直平行六面体的一对平行的侧面分别为所述半导体激光器阵列光束的入射端面和出射端面，该直平行六面体的另一对平行的侧面平行于所述半导体激光器阵列光束的入射方向，该直平行六面体的平行四边形底面与相邻透明光学材料层的底面部分重合；其中，沿着所述层叠方向顺序排列的所述各个透明光学材料层中的所述光束入射端面相对于平行于所述半导体激光器阵列光束入射方向的所述侧面所成的角度递增或递减，所述各个透明光学材料层中的所述入射端面和出射端面之间的垂直距离或沿所述光束入射方向的距离相同。