[实用新型]一种材料表面低温等离子体改性装置有效
| 申请号： | 201120333712.7 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN202238033U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 王红卫 | 申请（专利权）人： | 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种材料表面低温等离子体改性装置，所述装置包括抽气口、腔体内壁电极、内电极、内电极绝缘固定座、样品托盘、样品架支撑导轨、喂气口以及等离子体发生电源组成。等离子体处理腔由腔体外壁电极、内电极组成，外壁电极接地；样品架支撑导轨固定在内电极上，样品放置于样品架上，样品托盘由样品架导轨支撑，样品位于电极组以外的内电极围绕的空间内。本实用新型所述装置，等离子体聚合反应温和、副反应少、可控性强，极大地满足了工业生产的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 表面 低温 等离子体 改性 装置 | ||
【主权项】：
一种材料表面低温等离子体改性装置，所述装置包括抽气口、腔体内壁电极、内电极、内电极绝缘固定座、样品托盘、样品架支撑导轨、喂气口以及等离子体发生电源组成，其特征在于，等离子体处理腔由腔体内壁电极、内电极组成，腔体内壁电极接地；样品架支撑导轨固定在内电极上，样品放置于样品架上，样品托盘由样品架支撑导轨支撑，样品位于电极组以外的内电极围绕的空间内。
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