[实用新型]大型表膜构件用框体和大型表膜构件

摘要

本实用新型提供能够确保框体的制造容易性，且能抑制曝光有效面积的缩小的大型表膜构件用框体和大型表膜构件。在形成为大致矩形而铺展支承有大型表膜构件用膜(3)的大型表膜构件用框体(2)上形成至少1个接合部，在构成该大型表膜构件用框体(2)的长边(2a、2b)的一部分上形成向外侧弯曲而成的弯曲部(10a、10b)。这样，能够采用使长边(2a、2b)的一部分弯曲的简易方法，形成弯曲部(10a、10b)，并且即使所铺展的大型表膜构件用膜(3)的张力使大型表膜构件用框体(2)的边向内侧发生了挠曲，也能减小该边朝向大型表膜构件用框体(2)的内侧进入的最大位移量，因此能够确保制造容易性，并且能够抑制曝光有效面积的缩小。

主权项

大型表膜构件用框体，其为大致矩形，具有开口部，其特征在于，上述开口部的周缘部由框构件形成，并且上述框构件由至少1个接合部接合；在构成该大型表膜构件用框体的边的一部分上形成有向外侧弯曲而成的弯曲部。