[实用新型]氯硅烷洗涤塔有效
申请号: | 201120338418.5 | 申请日: | 2011-09-09 |
公开(公告)号: | CN202398241U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 黄小华;赵翠;曾炟;许晟 | 申请(专利权)人: | 上海森松新能源设备有限公司 |
主分类号: | B01D47/00 | 分类号: | B01D47/00;C01B33/107 |
代理公司: | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人: | 马育麟 |
地址: | 201323 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氯硅烷洗涤塔,包括洗涤段、连接法兰以及换热段。洗涤段含有锥形封头、液相空间、气相空间。其中,带粉尘的高温氯硅烷气体经过锥形封头上的氯硅烷进气口进入洗涤塔;在液相空间的洗涤液中充分反应,氯硅烷气体中的粉尘杂质被留在洗涤液中,由于重力原因沉积于锥形封头的底端,由底端的排渣口定期进行排渣;洗涤后的高温氯硅烷气体进入换热段的换热管中;换热段壳体通入冷却介质;经充分换热后的氯硅烷气体由换热段上封头的气体出口进入下一工序。本实用新型提供的氯硅烷洗涤塔能够对高温的氯硅烷气体进行洗涤与换热,使其能直接进入下一生产工序,为后续的生产工序进行预处理。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 洗涤 | ||
【主权项】:
氯硅烷洗涤塔,其特征在于:自上而下包括上封头、换热段、洗涤段以及下封头,所述换热段与洗涤段通过法兰连接;所述下封头设有气体进口;所述上封头设有气体出口,所述换热段设有冷却介质出口和冷却介质入口。
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