[实用新型]锗烷生产预除杂装置

摘要

本实用新型涉及一种除杂装置，尤其是涉及一种锗烷生产预除杂装置，包括预除杂容器体、快速接头、输入阀门、输出阀门和排出阀门，所述快速接头的输入端连接到反应釜气体输出口，其输出端经输入阀门连接到预除杂容器体，所述预除杂容器体输出端连接到输出阀门及排出阀门，所述输出阀门的输出端经接头连接到深度除杂系统，该装置可将气体中夹带的大部分水分、固体粉末等先截留下来，只让少量水分、固体粉末等进入到下一步的深度除杂系统，这样既可以提高产品的纯度，又能节约成本，而且气体中的大部分粉末不会进入到系统的管道中，避免管道堵塞，维持了管道洁净。

主权项

锗烷生产预除杂装置，其特征在于：包括预除杂容器体(1)、快速接头(2)、输入阀门(3)、输出阀门(4)和排出阀门(5)，所述快速接头(2)的输入端连接到反应釜气体输出口，其输出端经输入阀门(3)连接到预除杂容器体(1)，所述预除杂容器体(1)输出端连接到输出阀门(4)及排出阀门(5)。