[实用新型]PECVD卸片用承载盒有效
| 申请号： | 201120341526.8 | 申请日： | 2011-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN202217698U | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 吴艳芬;余涛;陈筑;刘晓巍;詹国平;蔡二辉 | 申请（专利权）人： | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 李迎春 |
| 地址： | 315177 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD卸片用承载盒，它包括四方形的底板（1）、垂直固定于四方形底板（1）的三条边边缘的三块侧板（2）、垂直固定于四方形底板（1）的另一条边边缘的下板（3），相对于三块侧板（2）而言下板（3）在底板（1）的另一面。三块侧板（2）的中间那块侧板（2）的内表面固定粘贴有一块泡沫板（4）。底板（1）、侧板（2）及下板（3）由塑料材料制成。该PECVD卸片用承载盒使PECVD晶片卸片速度快，卸片后整齐叠放以保证下道吸片工序顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | pecvd 卸片用 承载 | ||
【主权项】：
一种PECVD卸片用承载盒，其特征在于：包括四方形的底板（1）、垂直固定于四方形底板（1）的三条边边缘的三块侧板（2）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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