[实用新型]一种无铜环保镜合金溅射专用靶材有效
| 申请号： | 201120347617.2 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN202246840U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 林百涛 | 申请（专利权）人： | 河南金林玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471000 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种无铜环保镜合金溅射专用靶材，它涉及一种靶材。它包含靶材本体，它还包含抗氧化层，抗氧化层包裹在靶材本体的外侧，抗氧化层是由硅元素、铁元素、铜元素、镍元素、镁元素、铬元素、锌元素、钛元素混合制备而成，能够提高靶材的抗氧化能力，同时提供镜子反射效果；本实用新型抗氧化能力强，耐释性强，且使镜子的反射效果得到很大的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜环 合金 溅射 专用 | ||
【主权项】：
一种无铜环保镜合金溅射专用靶材，它包含靶材本体(1)，其特征在于它还包含抗氧化层(2)，抗氧化层(2)包裹在靶材本体(1)的外侧。
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