[实用新型]纳米测量光栅传感系统

摘要

本实用新型涉及纳米计量技术领域，具体涉及一种传感装置。纳米测量光栅传感系统，包括用于产生激光光束的激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器，所述光学棱镜包括一反射镜、两个直角棱镜、两个四分之一波片、一非偏振分光棱镜、两个偏振分光棱镜，光电探测器包括两个。本实用新型基于衍射光栅，半导体激光光源的微型纳米测量系统，利用这些元件构建一纳米测量光路。由于采用了上述技术方案，本实用新型将环境光源的影响降至最低，通过提高了光栅偏摆的公差，抑制光栅运动直线度误差的影响，并实现了紧凑小巧的光路结构，缩短了测量光路的光程，提高了系统的抗环境干扰的能力。

主权项

纳米测量光栅传感系统，包括用于产生激光光束的激光器、光学棱镜、光栅、光电探测器，其特征在于，所述光学棱镜包括一反射镜、两个直角棱镜、两个四分之一波片、一非偏振分光棱镜、两个偏振分光棱镜；所述光电探测器包括两个；所述激光器的出光口左侧设有所述反射镜，所述反射镜的反射面位于右侧，所述反射镜向右倾斜设置，所述反射镜的下方设有所述光栅，所述光栅的右侧设有一所述直角棱镜，一所述直角棱镜的入光面前方设有一所述四分之一波片；所述光栅的左侧设有另一所述直角棱镜，两个所述直角棱镜的斜边均朝向所述光栅，两个所述直角棱镜相对设置；所述光栅上方设有所述非偏振分光棱镜，所述非偏振分光棱镜设置在所述反射镜的左侧；所述非偏振分光棱镜的右侧设有另一所述四分之一波片，另一所述四分之一波片的右侧设有一所述偏振分光棱镜，一所述偏振分光棱镜的右侧设有一所述光电探测器；所述非偏振分光棱镜上方设有另一所述偏振分光棱镜，另一所述偏振分光棱镜的左侧设有另一所述光电探测器。