[实用新型]石英法篮有效
| 申请号： | 201120353045.9 | 申请日： | 2011-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN202259212U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 潘建英;伍林;张海金 | 申请（专利权）人： | 宜兴市环洲微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英法篮，包括法篮本体（1），法篮本体（1）包括法篮横轴（2）和法篮竖壁（3），法篮竖壁（3）对称设置在法篮横轴（2）的两端并与若干个法篮横轴（2）构成半封闭的法篮本体（1），法篮横轴（2）的侧壁内侧设有法篮槽（4），法篮槽（4）内插有嵌入法篮本体（1）的硅片（5），该法篮竖壁（3）的侧面上设有固定环（6），固定环（6）对称设置在法篮横轴（2）两端的法篮竖壁（3）上且固定环（6）的轴心位于同一条中心线上，两个固定环（6）通过穿过固定环（6）的石英棒（7）相连。本实用新型可有效防止硅片的浮起和相互粘贴，且能缩短腐蚀时间，提高铝层图形线条的清晰度，提高生产效率，适宜推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 | ||
【主权项】：
一种石英法篮，包括法篮本体（1），法篮本体（1）包括法篮横轴（2）和法篮竖壁（3），法篮竖壁（3）对称设置在法篮横轴（2）的两端并与若干个法篮横轴（2）构成半封闭的法篮本体（1），法篮横轴（2）的侧壁内侧设有法篮槽（4），法篮槽（4）内插有嵌入法篮本体（1）的硅片（5），其特征在于所述法篮竖壁（3）的侧面上设有固定环（6），所述的固定环（6）对称设置在法篮横轴（2）两端的法篮竖壁（3）上且固定环（6）的轴心位于同一条中心线上，两个固定环（6）通过穿过固定环（6）的石英棒（7）相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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