[实用新型]梁膜结构石英压力谐振元件有效
| 申请号： | 201120353938.3 | 申请日： | 2011-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202204625U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 姚东媛;谢胜秋;王长虹;张莉新;谌福华;雷刚;刘亚娟;程颖 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 徐爱萍 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 梁膜结构石英压力谐振元件，它涉及一种压力谐振元件。解决目前无法消除结构和材料间的应力的问题。所述元件包括石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片，石英膜片的上端面上开有一个凹槽，石英膜片的上端面上沿凹槽的外部开有一个与凹槽形状一致的环槽，石英音叉谐振器设在石英膜片的上端面上且石英音叉谐振器的外边缘与环槽的内边缘相吻合，环槽的底部开有导角，石英盖的底端面与石英膜片的上端面连接，石英盖、石英音叉谐振器和石英膜片之间构成真空腔。本实用新型用于谐振式传感器中。 | ||
| 搜索关键词： | 膜结构 石英 压力 谐振 元件 | ||
【主权项】：
一种梁膜结构石英压力谐振元件，所述元件包括石英盖(1)、石英音叉谐振器(2)和石英膜片(3)，其特征在于石英膜片(3)的上端面上开有一个凹槽(3‑1)，凹槽(3‑1)的底端面与石英膜片(3)的底端面之间形成薄膜，石英膜片(3)的上端面上沿凹槽(3‑1)的外部开有一个与凹槽(3‑1)形状一致的环槽(3‑2)，石英音叉谐振器(2)设在石英膜片(3)的上端面上且石英音叉谐振器(2)的外边缘与环槽(3‑2)的内边缘相吻合，环槽(3‑2)的底部开有导角(3‑3)，石英盖(1)的底端面与石英膜片(3)的上端面连接，石英盖(1)、石英音叉谐振器(2)和石英膜片(3)之间构成真空腔(4)。
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