[实用新型]一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材有效
| 申请号： | 201120364345.7 | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN202322989U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 孙超;常正凯;肖金泉;宫骏;华伟刚;陈育秋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 周秀梅;李颖 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于薄膜制备领域，具体地说是一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材。所述复合结构靶材包括高磁导率的软磁性材料靶壳与铁磁性材料靶材，所述铁磁性材料靶材与软磁性材料靶壳相连。本实用新型复合结构靶材解决了由于铁磁性靶材表面增加沟槽克服磁屏蔽时，降低了靶材使用寿命，进而本实用新型复合结构靶材解决了为改变靶面磁力线分布，在沉积系统中附加耦合磁场所带来的设备操作复杂及成本增加问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电弧 离子镀 铁磁性 复合 结构 | ||
【主权项】：
一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材，其特征在于：所述复合结构靶材包括高磁导率的软磁性材料靶壳(4)与铁磁性材料靶材(2)，所述铁磁性材料靶材(2)与软磁性材料靶壳(4)相连。
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