[实用新型]干涉仪剪切量在线检测系统有效
| 申请号： | 201120377533.3 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN202267533U | 公开（公告）日： | 2012-06-06 |
| 发明（设计）人： | 刘峰;张周锋;赵建科;徐亮;周艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 姚敏杰 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光谱成像仪干涉仪组件在装配和胶合过程中剪切量的在线检测和实时监测，该系统包括光源系统、扫描系统、傅氏系统以及信号采集与处理单元；扫描系统设置于光源系统的出射光路上；傅氏系统设置于经扫描系统后的出射光路上；信号采集与处理单元设置于傅氏系统的焦平面上。本实用新型提供了一种可直接实时测量干涉仪剪切量、精度高、实时性强、稳定性高以及应用范围广的干涉仪剪切量在线检测系统。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 剪切 在线 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种干涉仪剪切量在线检测系统，其特征在于：所述干涉仪剪切量在线检测系统包括光源系统、扫描系统、傅氏系统以及信号采集与处理单元；所述扫描系统设置于光源系统的出射光路上；所述傅氏系统设置于经扫描系统后的出射光路上；所述信号采集与处理单元设置于傅氏系统的焦平面上。
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