[实用新型]真空环境基板翻转装置

摘要

本实用新型是一种真空环境基板翻转装置，包含：底座前侧有能前后移动的夹放固定部，夹放固定部有导引环，导引环有斜面；夹放机构有上夹放件和下夹放件设置于夹放固定部内，上、下夹放件之间有弹性件，夹放机构同时有上夹爪和下夹爪，上、下夹放件分别与上、下夹爪连接，上、下夹放件各有导引面，导引面与导引环的斜面对应贴合并彼此相对滑移；移动驱动源置为底座后侧并有移动连接部连接夹放固定部，并驱动夹放固定部前后移动，进一步使导引环带动有导引面的夹放机构，使上、下夹放件与上、下夹爪做上下运动；旋转驱动源置为底座后侧，有旋转连接部连接夹放机构，其用以翻转该夹放机构；以及伸缩囊连接底座与夹放固定部包覆移动连接部。

主权项

一种用于真空环境的基板夹持翻转装置，其特征在于，包含：一底座，其前侧具有能前后移动的一夹放固定部，该夹放固定部具有一导引环，该导引环具有斜面；一夹放机构，具有一上夹放件和一下夹放件设置于该夹放固定部内，该上、下夹放件之间有一弹性件，该夹放机构同时具有一上夹爪和一下夹爪，该上、下夹放件分别与该上、下夹爪连接，该上、下夹放件各具有一导引面，该导引面与该导引环的斜面对应贴合并彼此相对滑移；一移动驱动源，其置为该底座后侧，该移动驱动源具有一移动连接部连接该夹放固定部，并驱动该夹放固定部前后移动，进一步使该导引环带动具有导引面的该夹放机构，使该上、下夹放件与该上、下夹爪做上下运动；一旋转驱动源，其置为该底座后侧，具有一旋转连接部连接该夹放机构，其用以翻转该夹放机构；以及一伸缩囊，其连接该底座与该夹放固定部，并包覆该移动连接部。