[实用新型]一种晶体硅太阳能电池扩散用石英舟

摘要

本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池扩散用石英舟，包括四根平行的固定杆和固定在固定杆上的承载单元，四根固定杆中包括两根上固定杆和两个下固定杆；承载单元包括四根平行的承载杆，分为两根上承载杆和两根下承载杆，两根上承载杆垂直跨接在两根上固定杆之间，两个下承载杆垂直跨接在两根下固定杆之间，且两根上承载杆之间的间距大于两个下承载杆之间的间距；在承载杆上均匀地设有一组卡槽，卡槽的方向与固定杆平行。本实用新型提供的石英舟，结构简单、设计合理，能显著改善原来气体不均匀带来的工艺问题，提高了电池片的性能；采用本实用新型提供的石英舟扩散的晶硅片，单片方阻均匀性可控制在3ohm/sq内。

主权项

一种晶体硅太阳能电池扩散用石英舟，其特征在于：该石英舟包括四根平行的固定杆(1)和固定在固定杆(1)上的承载单元，所述四根固定杆(1)中包括两根上固定杆和两个下固定杆；所述承载单元包括四根平行的承载杆(2)，分为两根上承载杆和两根下承载杆，所述两根上承载杆垂直跨接在两根上固定杆之间，两个下承载杆垂直跨接在两根下固定杆之间，且两根上承载杆之间的间距大于两个下承载杆之间的间距；在承载杆(2)上均匀地设有一组卡槽(3)，卡槽(3)的方向与固定杆(1)平行。