[实用新型]千级无尘室排气系统有效

专利信息
申请号: 201120383573.9 申请日: 2011-10-10
公开(公告)号: CN202263680U 公开(公告)日: 2012-06-06
发明(设计)人: 邓毅强;郑然 申请(专利权)人: 长兴(广州)电子材料有限公司
主分类号: B05B15/12 分类号: B05B15/12;B05B15/04
代理公司: 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 代理人: 黄为
地址: 510530 广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种千级无尘室排气系统,包括一端连接于千级无尘室排气口的排气管,该排气管的另一端接入烘箱的进气风机,所述排气管上设有单向阀和排气风机。本实用新型防止了千级无尘室尾气排空污染环境;不需要另外增加尾气处理设备,降低了尾气处理的成本;千级无尘室的尾气进入烘箱,改善了烘箱新鲜进气的温湿度,降低了涂布时产生有缺陷的产品数量。
搜索关键词: 千级无尘室 排气 系统
【主权项】:
一种千级无尘室排气系统,其特征在于:包括一端连接于千级无尘室排气口的排气管,该排气管的另一端接入烘箱的进气风机,所述排气管上设有单向阀和排气风机。
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