[实用新型]一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置有效
| 申请号： | 201120395110.4 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN202259194U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 周小荣;周大良;罗亮;汤辉;黄盛娟;华菁 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;B08B11/00 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置，包括提取载片花篮的机械手，机械手两端设有机械臂勾，两端机械臂勾之间设有带进水接口的高压水管，并在高压水管底部装有喷淋嘴。本装置通过自动喷雾可以有效清除酸的残留物，控制再制绒效应，避免绒面大小不一，改善PE成膜的均匀性。PE因制绒原因产生的红片和发白片的比例大大降低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 多晶 硅槽式酸制绒绒面 装置 | ||
【主权项】：
一种改善多晶硅槽式酸制绒绒面的装置，包括提取载片花篮(5)的机械手，机械手两端设有机械臂勾(4)，其特征是，两端机械臂勾(4)之间设有带进水接口(1)的高压水管(3)，并在高压水管(3)底部装有喷淋嘴(2)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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