[实用新型]一种带有恒温槽保护装置的三氯氧磷控温系统有效
| 申请号： | 201120395165.5 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN202247018U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 罗亮;周大良;刘松;汤辉;周小荣 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型属于太阳能光伏发电领域，涉及半导体设备，进一步是指晶体硅太阳能电池生产线中扩散设备的三氯氧磷控温系统，包括控温容器和源瓶，源瓶外部套装保护筒，控温容器上设有盖板，并在盖板顶部开孔，所述保护筒置于盖板孔内，且保护筒固定在盖板上。本实用新型为一种带有恒温槽保护装置的三氯氧磷控温系统，有效的隔断了源瓶爆破后三氯氧磷与水的直接接触反应，进而保护恒温槽免受进一步腐蚀的危险。本实用新型造价低，改造简单明了，效果显著。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 恒温槽 保护装置 三氯氧磷控温 系统 | ||
【主权项】：
一种带有恒温槽保护装置的三氯氧磷控温系统，包括控温容器(2)和源瓶(3)，其特征是，源瓶(3)外部套装保护筒(5)，控温容器(2)上设有盖板(4)，并在盖板(4)顶部开孔，所述保护筒(5)置于盖板孔内，且保护筒(5)固定在盖板(4)上。
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