[实用新型]OLED基片线性传输装置有效
申请号: | 201120398875.3 | 申请日: | 2011-10-19 |
公开(公告)号: | CN202282338U | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 郭业祥;范继良;刘惠森 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L51/56;B65G49/06 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种OLED基片线性传输装置,包括机架、水平输送装置及若干升降装置,机架包括水平底板和侧板;升降装置沿水平底板的纵向在水平底板上呈等隔的设置并包括升降驱动器和托架,托架的底端与升降驱动器的输出轴连接且顶端具有托起部;水平输送装置包括水平驱动组件及若干基片承载架,基片承载架沿水平方向在侧板上呈等间隔的设置且一端与侧板滑动连接,另一端远离侧板并朝托架处凸伸出两对应设置的承载部,承载部沿水平底板的纵向位于托起部的两侧外并朝对方弯折形成位于托起部正上方的基片承载区,相邻基片承载架之间固定连接,水平驱动组件驱使基片承载架沿水平方向移动,使本实用新型承担着不同工序之间的基片传送且结构紧凑。 | ||
搜索关键词: | oled 线性 传输 装置 | ||
【主权项】:
一种OLED基片线性传输装置,用于对OLED生产工艺中不同工序之间的基片进行水平方向和竖直方向的线性传输,其特征在于,所述OLED基片线性传输装置包括:机架,所述机架包括水平底板及沿所述水平底板弯折延伸形成的侧板;若干升降装置,所述升降装置沿所述水平底板的纵向呈等隔的设置于所述水平底板上,所述升降装置包括升降驱动器及托架,所述托架的底端与所述升降驱动器的输出轴连接,所述托架的顶端具有供托起基片用的托起部;以及水平输送装置,所述水平输送装置包括水平驱动组件及若个基片承载架,所述基片承载架沿水平方向呈等间隔的设置于所述侧板上,所述基片承载架的一端可沿水平方向滑动的与所述侧板连接,所述基片承载架的另一端远离所述侧板并朝所述托架处凸伸出两对应设置的承载部,所述承载部沿所述水平底板的纵向位于所述托起部的两侧外,且两所述承载部朝对方弯折形成位于所述托起部正上方的基片承载区,相邻所述基片承载架之间固定连接,所述水平驱动组件驱使所述基片承载架沿水平方向移动,移动的基片承载架使基片承载区正对托起部,升降驱动器驱使托起部伸入基片承载区进而托起承载于基片承载区内的基片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造