[实用新型]一种调焦调平装置有效
| 申请号： | 201120403041.7 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN202494862U | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 刘广义;齐月静;王宇;周翊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种调焦调平装置，由照明系统、成像系统和探测系统组成，其中：成像系统中包括有第一偏振片、1/4波片和SAVART板组成的起偏光路，由该起偏光路将接收到的硅片反射光分成两束偏振方向垂直，空间上错开半个周期的两幅图像。本实用新型提供的调焦调平装置的起偏光路，利用第一偏振片和1/4波片作为起偏光路产生o光和e光，并充分利用硅片反射回来的光线，提高光能的有效利用率，提高调焦调平信号的信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 平装 | ||
【主权项】：
一种调焦调平装置，由照明系统、成像系统和探测系统组成，其特征在于：成像系统中包括有第一偏振片、1/4波片和SAVART板组成的起偏光路。
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