[实用新型]一种工件台密珠轴承二维运动装置

摘要

本实用新型提供一种工件台密珠轴承二维运动装置，该装置是由硅片、台子安装螺钉、螺母、移动保持架、旋转保持架、中心轴、内轴套、外轴套、端面保持架、端面轴承环、支撑架、凹端紧定螺钉、第一锁紧螺母、第二锁紧螺母、联轴节、丝杠轴、销钉、电机轴、电机、丝杠、台子安装孔、工件台、外螺纹、第一安装螺钉～第六安装螺钉和第七安装螺钉～第十安装螺钉组成；该装置使工件台在垂直方向上下移动及水平方向旋转过程中克服了滑动摩擦结构中出现的间隙大、易偏摆、运动不均匀、卡、滞等问题，保证了工件台的重复定位精度，提高了硅片的光刻质量。

主权项

一种工件台密珠轴承二维运动装置，其特征在于：该装置是由硅片(1)、台子安装螺钉(2)、螺母(3)、移动保持架(4)、旋转保持架(5)、中心轴(6)、内轴套(7)、外轴套(8)、端面保持架(9)、端面轴承环(10)、支撑架(11)、凹端紧定螺钉(12)、第一锁紧螺母(13)、第二锁紧螺母(14)、联轴节(15)、丝杠轴(16)、销钉(17)、电机轴(18)、电机(19)、丝杠(20)、台子安装孔(21)、工件台(22)、外螺纹(23)、第一安装螺钉～第六安装螺钉(101～106)和第七安装螺钉～第十安装螺钉(201～204)组成；其中：电机(19)通过第七安装螺钉～第十安装螺钉(201～204)被固定在内轴套(7)圆柱底端上，电机轴(18)、丝杠轴(16)分别通过销钉(17)、凹端紧定螺钉(12)与联轴节(15)相连；丝杠(20)与螺母(3)相连；工件台(22)通过台子安装螺钉(2)与中心轴(6)相连，硅片(1)放在工件台(22)上；外轴套(8)为T型圆柱型结构，中间开有圆形通孔(8077)，通过第一安装螺钉～第六安装螺钉(101～106)固定在支撑架(11)上；旋转保持架(5)为T型圆柱型结构，中间开有圆形通孔(325)，旋转保持架(5)位于外轴套(8)的上方，处于外轴套(8)的圆形通孔(8077)内；内轴套(7)为T型圆柱型结构，中间开有圆形通孔(2015)，内轴套(7)又套放在旋转保持架(5)的上方，位于旋转保持架(5)的圆形通孔(325)内；移动保持架(4)为T型圆柱型结构，中间开有圆形通孔(425)，移动保持架(4)位于内轴套(7)的圆形通孔(2015)内；中心轴(6)放在移动保持架(4)的圆型通孔(425)内；端面保持架(9)和端面轴承环(10)都安装在内轴套(7)上，端面保持架(9)位于端面轴承环(10)的上方，端面保持架(9)上的钢球(901～906)分别与外轴套(8)的下端面和端面轴承环(10)的上端面相接触，通过第一锁紧螺母(13)、第二锁紧螺母(14)把端面轴承环(10)与外轴套(8)及端面保持架(9)上的钢球(901～906)采用滚动无间隙锁紧；并且端面保持架(9)为圆柱型结构，中间开有圆形通孔(9077)，并在顶端平面360°圆周以60°间隔均匀分布6个圆形通孔(9011～9066)，装配时，在这6个通孔中放入钢球(901～906)；并且旋转保持架(5)为T型圆柱型结构，中间开有圆形通孔(325)，在旋转保持架(5)的顶端平面360°圆周均匀分布6个圆形通孔(3011～3066)，装配时，在这6个通孔中放入钢球；在旋转保持架(5)的圆柱面上360°均匀分布有3行6列共18个圆形通孔(3077～3244)，装配时，在这些通孔中放入钢球(307～324)；并且移动保持架(4)为T型圆柱型结构，中间开有圆形通孔(425)，在移动保持架(4)的圆柱面上360°内均匀分布有4行6列共24个圆形通孔(4011～4244)，装配时，在这些通孔中放入钢球(401～424)， 该装置通过钢球无间隙、过盈配合使工件台运动灵活、无卡、无滞。