[实用新型]单晶硅生长炉的石墨坩埚有效
| 申请号： | 201120435287.2 | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN202390577U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 周兵 | 申请（专利权）人： | 周兵 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 226100 江苏省南通市海门*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了单晶硅生长炉的石墨坩埚，其特征是：包括坩埚本体，所述坩埚本体由大小相同的至少三瓣坩埚片和一个坩埚托盘组成，所述相邻的坩埚片的顶部通过连接件连接，所述坩埚本体外表面具有间隔均匀且高度相同的凸台。本实用新型的优点是：能降低单晶硅生产中的氧含量，传热效率高，加热迅速。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生长 石墨 坩埚 | ||
【主权项】：
单晶硅生长炉的石墨坩埚，其特征是：包括坩埚本体，所述坩埚本体由大小相同的至少三瓣坩埚片和一个坩埚托盘组成，所述相邻的坩埚片的顶部通过连接件连接，所述坩埚本体外表面具有间隔均匀且高度相同的凸台。
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