[实用新型]真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路有效
| 申请号： | 201120436177.8 | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN202390531U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 陈尧贵 | 申请（专利权）人： | 宸阳光电科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其包括有一接口、一腔体和一破气缓冲管，其中，该腔体上设置有一用于通气的第一气口，该破气缓冲管上设置有一第二气口，上述接口一端连接于第一气口上，另一端连接于上述第二气口上。藉此，通过于腔体和破气缓冲罐之间连接一接口，使腔体内气体与破气缓冲管连通，从而加快腔体内气体排放，有效减少腔体破气时间。使镀膜时，能有效防止膜片由基片上脱落的现象发生，从而，提高镀膜产品合格率，并且该结构简单，安装方便，紧固后不易松动，工作稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 空腔 缓冲 管路 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机之真空腔破气缓冲管路，其特征在于：包括有一接口、一腔体和一破气缓冲管，其中，该腔体上设置有一用于通气的第一气口，该破气缓冲管上设置有一第二气口，上述接口一端连接于第一气口上，另一端连接于上述第二气口上。
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