[实用新型]一种基板摩擦装置有效
| 申请号： | 201120444027.1 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN202281887U | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 白冰;邵勇;李京鹏;赵承潭 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板摩擦装置，包括摩擦辊和至少一个基板载物台，所述摩擦辊垂直于水平面设置，所述基板载物台承载有基板，所述基板的平面与所述摩擦辊轴向平行，所述摩擦辊与所述基板载物台承载的基板发生相对运动以对基板表面摩擦。本实用新型基板摩擦装置采用垂直设置摩擦辊的方式，能够避免因重力影响导致摩擦辊发生形变的现象，在长时间使用的情况下能够保证摩擦工艺在基板表面产生的沟槽深度均匀，提高了摩擦工艺的水平。此外，本实用新型垂直设置摩擦辊的设计比原有技术平行设置摩擦辊节省了很多空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摩擦 装置 | ||
【主权项】：
一种基板摩擦装置，其特征在于，包括摩擦辊和至少一个基板载物台，所述摩擦辊垂直于水平面设置，所述基板载物台承载有基板，所述基板的平面与所述摩擦辊轴向平行，所述摩擦辊与所述基板载物台承载的基板发生相对运动以对基板表面摩擦。
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