[实用新型]兆声波换能装置有效
| 申请号： | 201120444538.3 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN202356279U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 吴仪;马嘉;初国超 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/04 | 分类号： | B06B1/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种兆声波换能装置，涉及声波换能器技术领域，包括：换能器(1)、振子(2)、固定装置(3)和耦合介质层(4)，所述振子(2)通过所述固定装置(3)安装于所述换能器(1)上，所述振子(2)与固定装置(3)之间设有耦合介质层(4)；所述换能器(1)包括微声共振腔阵列(8)；所述微声共振腔阵列(8)分为至少三层，其中相邻两层中的共振腔的轴心沿径向错开腔直径的三分之一到一半的距离。本实用新型能够有效地减少或消除兆声波干涉，避免在兆声波腐蚀清洗工艺中产生一定的晶片表面和特征结构损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 装置 | ||
【主权项】：
一种兆声波换能装置，其特征在于，包括：换能器(1)、振子(2)、固定装置(3)和耦合介质层(4)，所述振子(2)通过所述固定装置(3)安装于所述换能器(1)上，所述振子(2)与固定装置(3)之间设有耦合介质层(4)；所述换能器(1)包括微声共振腔阵列(8)；所述微声共振腔阵列(8)分为至少三层，其中相邻两层中的共振腔的轴心沿径向错开腔直径的三分之一到一半的距离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京七星华创电子股份有限公司，未经北京七星华创电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120444538.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：木片水洗及厚度分选处理系统
- 下一篇：具有特殊模唇结构的涂覆模头
