[实用新型]一种全自动下传输系统有效
| 申请号： | 201120447088.3 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN202321565U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 雷震霖;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | B65G37/00 | 分类号： | B65G37/00;B65G43/08;B65G49/06 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机与传感器设置在传输型材上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。本实用新型在由4个传输工位构成的下传输系统上传输碳板，避免了在8个传输工位构成的传输系统传输不稳等缺点，可以降低碎片率，并且由于减少了设备元件，可以降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 传输 系统 | ||
【主权项】：
一种全自动下传输系统，包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，其特征在于：所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材(2)组成，所述电机与传感器设置在传输型材(2)上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。
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