[实用新型]喷金工艺溅射角设置方式有效
申请号: | 201120455858.9 | 申请日: | 2011-11-17 |
公开(公告)号: | CN202410876U | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 王金兵 | 申请(专利权)人: | 铜陵亿亨达电子有限责任公司;王金兵 |
主分类号: | B05B7/02 | 分类号: | B05B7/02;B05B7/14 |
代理公司: | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
地址: | 244123 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种喷金工艺溅射角设置方式,包括气嘴和多个喷枪,气嘴、喷枪呈扇形状依次排列,气嘴与两侧的喷枪之间的夹角为20-35度。本实用新型结构、改进简单,但是效果良好,有效的改善了喷金颗粒的均匀性和喷金层的附着力,且节约了材料。 | ||
搜索关键词: | 金工 溅射 设置 方式 | ||
【主权项】:
喷金工艺溅射角设置方式,包括气嘴和多个喷枪,其特征在于:所述的气嘴、喷枪呈扇形状依次排列,气嘴与两侧的喷枪之间的夹角为20‑35度。
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