[实用新型]喷金工艺溅射角设置方式有效

专利信息
申请号: 201120455858.9 申请日: 2011-11-17
公开(公告)号: CN202410876U 公开(公告)日: 2012-09-05
发明(设计)人: 王金兵 申请(专利权)人: 铜陵亿亨达电子有限责任公司;王金兵
主分类号: B05B7/02 分类号: B05B7/02;B05B7/14
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 244123 *** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开了一种喷金工艺溅射角设置方式,包括气嘴和多个喷枪,气嘴、喷枪呈扇形状依次排列,气嘴与两侧的喷枪之间的夹角为20-35度。本实用新型结构、改进简单,但是效果良好,有效的改善了喷金颗粒的均匀性和喷金层的附着力,且节约了材料。
搜索关键词: 金工 溅射 设置 方式
【主权项】:
喷金工艺溅射角设置方式,包括气嘴和多个喷枪,其特征在于:所述的气嘴、喷枪呈扇形状依次排列,气嘴与两侧的喷枪之间的夹角为20‑35度。
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