[实用新型]一种应变式压力传感器的绝压封装结构及应变式压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种应变式压力传感器的绝压封装结构及应变式压力传感器，为了解决现有的应变式压力传感器不适合测量绝压压力的问题，所述应变式压力传感器的绝压封装结构包括基座、弹性体膜片、下支架和密封接头，各部件通过激光或电子束焊接方式相互连接，在弹性体膜片背面形成一个真空空腔，通过密封接头上的电气引针完成电气输出。所述应变式压力传感器包括上述绝压封装结构。本实用新型结构简单，操作方便，测量精度高，能对以真空为基准的压力的进行测量，可广泛应用于各种气体、液体或蒸汽的绝压压力测量。

主权项

一种应变式压力传感器的绝压封装结构，包括带通道的基座(1)，其特征是，所述基座(1)下方装有下支架(4)，该下支架(4)下方装有密封接头(7)，所述基座(1)与下支架(4)形成的空腔内设置有弹性体膜片(2)，所述下支架(4)、密封接头(7)和弹性体膜片(2)之间形成的真空腔内设有固定在下支架(4)上的引线板(5)，所述密封接头(7)上具有电气引针(8)，该电气引针(8)通过导线(6)与引线板(5)电连接，该引线板(5)通过硅铝丝(3)与所述弹性体膜片(2)相连。